Touch Panel AOI
型号1：外观光学六面检测设备
Exterior Multi-Side AOI
型号1：外观光学六面检测设备
Exterior Multi-Side AOI
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自动检测 |
外观六面检测(正、背、四个侧面) |
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高精确性 |
8K，12k B/W超高速线性检测检测 |
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高检测速度 |
11 sec./pcs cycle time |
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高支援性 |
Robot移动检测 |
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检测缺陷 |
表面刮伤、锯齿、亮点、白点、油墨...等 |
型号2：保护玻璃自动光学检测设备
Cover Glass AOI
Cover Glass AOI
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高精度检查 |
精度达8um |
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高产出速度 |
4” 以下，tact time : 5sec |
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高灵活性与安全性 |
依不同尺寸放料1~3片 |
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快速复判 |
使用defect map，缺陷撷图 |
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对应多样制程 |
素玻璃、网印玻璃、TP sensor |
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检测缺陷 |
IR孔亮点、溢墨、凹痕、凹点、油墨内污、边崩...等 |
型号3：LCM 来料检查机/ 最终成品检查机
LCM AOI/ Final Test API
LCM AOI/ Final Test API
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混合式光学系统 |
黑白/彩色CCD混用 |
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高分辨率 |
解出能力达26um |
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高产速设计 |
1个画面检测时间1.5秒 21个画面检测，产速为20s/pcs |
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人性化设计 |
自定义检测逻辑 协助统计生产数据及分析产线状况 自动切换检测Pattern，简便快速灯号表示检测结果 |
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检测缺陷 |
亮点、暗点、亮线、暗线、黄框、显示不均...等 |
型号4：触控玻璃表面外观检查机
TP sensor surface AOI-After Cutting
TP sensor surface AOI-After Cutting
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精密检测 |
检出能力 5~8um |
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高产速设计 |
4"以下，tact time 5sec/pcs (base on 8um) |
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客制化设计检测尺寸 |
切割后3"~12.1" |
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实时显示 |
可采用自动投料或手动投料设计，快速实时数据统计显示 |
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多元检测项目 |
制程缺陷：蚀刻异常、图形缺陷、线路open 、short 表面缺陷：表面脏污、表面刮伤 裂片缺陷：崩边、崩角 |
型号5: 切割前 触控面板 玻璃检查机
Touch Panel AOI- Before Cutting
Touch Panel AOI- Before Cutting
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高检测速度 |
100 mm/sec ~ 400 mm/sec |
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精准检测 |
机台藉由专属平台及高速线性马达达到高精准度 Resolution 3 um/pixel ~ 8 um/pixel 先进的图像处理技术，针对ITO&线路区等所产生缺陷进行精准检测 使用多组摄影机系统及讯号处理，达到高速及高精度 IN Line or OFF LINE检测 |
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缺陷种类 |
缺陷包含ITO架桥(断/缺少), 金属线路(开口/短路), ITO(蚀刻异常/电阻残留/短路), metal架桥(断线/缺少)、铝残留、刮伤、裂伤、粉尘等 |
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高产品尺寸兼容度 |
拥有各世代的TP实机(G2.5~G5.5) |
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客制化设计 |
可依照客户需求进行软、硬件开发 |
LCD AOI
型号1: 彩色滤光片自动光学检测设备
CF AOI
型号1: 彩色滤光片自动光学检测设备
CF AOI
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适用各代基板 |
适G2.5~G8.5 以上玻璃基板 G2.5 (400mm*500mm)、G3.5 (620mm*750mm)、G4 (680mm*880mm)、G4.5 (730mm*920mm)、G5 (1100mm*1300mm)/(1200mm*1300mm)、G5.5(1300mm*1500mm)、G6 (1500mm*1850mm)、G7.5 (1950mm*2200mm)、G8.5 (2200mm*2500mm) |
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高性能 |
藉由先进的图像处理技术提供实时的缺陷检测能力 |
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高精准度 |
采用高准确性的伺服马达控制器驱动防震动滚轮运输装置，或全版面气浮装置，以确保精准地撷取分析画面 |
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扩充性高 |
可扩充关键尺寸量测(CD measurement) 系统 检测结果直接显示于屏幕上 |
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适合多种制程 |
适于LCD 彩色滤光片制程 如黑框(BM)，RGB彩色膜、铟锡氧化物薄膜( ITO)、MVA、PS和INS等制程 |
型号2: TFT-LCD 制程缺陷自动复检设备
CF ARM
CF ARM
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适用各代基板 |
适G2.5~G8.5 以上玻璃基板 G2.5 (400mm*500mm)、G3.5 (620mm*750mm)、G4 (680mm*880mm)、G4.5 (730mm*920mm)、G5 (1100mm*1300mm)/(1200mm*1300mm)、G5.5(1300mm*1500mm)、G6 (1500mm*1850mm)、G7.5 (1950mm*2200mm)、G8.5 (2200mm*2500mm) |
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高性能 |
藉由先进的图像处理技术提供实时的缺陷检测能力 |
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高精准度 |
与自动光学检测系统(AOI)及先进的光学测量系统搭配使检测结果更为精准 采用高准确性的伺服马达控制器驱动防震动滚轮运输装置，以确保精准地撷取分析画面 |
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人性化设计 |
检测结果与缺陷信息显示于操作接口上，同时自动储存缺陷影像于数据库中 |
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适合多种制程 |
适于 TFT-LCD各制程，如黑框(BM)、RGB彩色膜、铟锡氧化物薄膜( ITO)、MVA、PS、INS 、PI、SEAL 及 Touch panel 等制程 |
型号3: Mura 缺陷自动光学检测设备
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适用各代基板 |
适G5/G6/G7.5/G8.5 以上玻璃基板 G5 (1100mm*1300mm)/(1200mm*1300mm)、G5.5(1300mm*1500mm)、G6 (1500mm*1850mm)、G7.5 (1950mm*2200mm)、G8.5 (2200mm*2500mm) |
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精准检测 |
判别TFT-LCD Color Filter在BM、R、G、B、OC及 PS制程Coater后是否产生Mura |
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适合多种制程 |
针对涂布后、曝光前所产生之Mura，同时亦能判别TFT-LCD Color Filter 全部制程后和Touch Panel、PI制程后之Mura。 |
型号4: 配向膜自动光学检测设备
PI AOI
PI AOI
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适用各代基板 |
适G2.5~G8.5 以上玻璃基板 G2.5 (400mm*500mm)、G3.5 (620mm*750mm)、G4 (680mm*880mm)、G4.5 (730mm*920mm)、G5 (1100mm*1300mm)/(1200mm*1300mm)、G5.5(1300mm*1500mm)、G6 (1500mm*1850mm)、G7.5 (1950mm*2200mm)、G8.5 (2200mm*2500mm) |
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高准确度 |
高精准的扫描机构检测玻璃基板 |
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高分辨率 |
先进广域动态影像扫描技术 |
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可检测项目 |
PI Shift、膜内Particle...等 |
型号5: 框胶制程自动光学检测设备
Seal AOI
Seal AOI
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适用各代基板 |
适G2.5~G8.5 以上玻璃基板 G2.5 (400mm*500mm)、G3.5 (620mm*750mm)、G4 (680mm*880mm)、G4.5 (730mm*920mm)、G5 (1100mm*1300mm)/(1200mm*1300mm)、G5.5(1300mm*1500mm)、G6 (1500mm*1850mm)、G7.5 (1950mm*2200mm)、G8.5 (2200mm*2500mm) |
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高准确度 |
高精准的扫描机构检测玻璃基板 |
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高分辨率 |
先进广域动态影像扫描技术 |
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可检出项目 |
Au Shift / Miss、Seal Shift / Broken / Width、膜内Particle...等 |
API AOI
型号：点灯检测设备
LCD/LCM API
型号：点灯检测设备
LCD/LCM API
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适用各代基板 |
适各尺寸大小 7"~65" |
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检测项目 |
灰阶不均缺陷(Mura)、亮/暗点、亮/暗线 |
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高性能 |
藉由先进的图像处理技术提供客户精确的Mura检测能力 |
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高精准度 |
可由用户设定的功能如: 自动伸展、自动对焦、CCD 可变间距让检测结果更为精准 |
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高可靠度 |
稳定的龙门及精密的伺服马达使机台运动得以精确，并且让检测结果更为可靠 |
其他AOI
型号1：In-Line OD/膜厚/色度自动量测设备
型号1：In-Line OD/膜厚/色度自动量测设备
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适用各代基板 |
适G3.5/G4/G4.5/G5/G6/G7.5/G8.5 以上玻璃基板 G3.5 (620mm*750mm)、G4 (680mm*880mm)、G4.5 (730mm*920mm)、G5 (1100mm*1300mm)/(1200mm*1300mm)、G5.5(1300mm*1500mm)、G6 (1500mm*1850mm)、G7.5 (1950mm*2200mm)、G8.5 (2200mm*2500mm) |
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精准检测 |
判别TFT-LCD Color Filter在BM、R、G、B、OC及 PS制程Coater后是否有涂布不均与异常 |
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检测项目 |
OD量测 --- BM 膜厚量测 --- OC、PS 色度量测 --- R、G、B |
型号2：毛边自动光学检测设备
Burr Check
Burr Check
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适用各代基板 |
适各尺寸大小 12"~47" |
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高效能表现 |
先进的图像处理技术提供精确的检出 |
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高精准度 |
搭载精确的高速伺服马达，提供稳定可信赖的检出结果 |
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双面检测系统 |
手动调整式切割量/磨边量 量测系统 (屏幕直接显示量测结果) |
型号3：偏光膜光学检测设备
Polarizer AOI
Polarizer AOI
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高分辨率 |
15um |
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高产速 |
平均15~18sec./sheet |
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高精准度 |
搭配 高分辨率 黑白线型 CCD |
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可检测缺陷种类 |
TAC scratch, foreign material, crumple, cross type defect |
